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激光晶体生长炉

上提拉晶体生长炉,提供功能强大的提拉法晶体生长自动化单晶炉,适合用于生长高熔点温度氧化物晶体,如YAG、YAP、蓝宝石等。  设…

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  上提拉晶体生长炉,提供功能强大的提拉法晶体生长自动化单晶炉,适合用于生长高熔点温度氧化物晶体,如YAG、YAP、蓝宝石等。

  设备组成结构:

  上提拉传动机构:行程:550mm,提拉速度1~10mm/h,可手动快速升降,光栅尺显示。

  籽晶杆旋转机构

  坩埚升降机构:行程100mm,位移数字显示,焊接波纹管密封,水冷坩埚杆及陶瓷坩埚杆可选。

  炉体及真空系统  炉膛:

  ——双层水冷耐高温不锈钢炉壁

  ——炉膛尺寸

  规格:BOET-CZ-600A型内径:600mm,高度:900mm BOET-CZ-800A型内径:800mm,高度1200mm

  (或根据客户要求定制)

  ——真空度:极限真空度<10Pa

  (客户若需求高真空,可配制扩散泵,真空度可达:<6×10-3Pa)

  ——炉膛..高充气压力:0.08MPa

  控制系统——采用标准的抽屉柜,所有的控制集中在一个控制柜中,各功能模块又相互独立。

  ——采用工控机进行过程控制。

  ——全部仪表采用数字方式显示,一目了然。

  ——整个控制系统配有UPS电源,在外电停电的情况下给用户提供必要的时间采取措施保护设备,减少用户因停电带来的损失。

  ——自由进行手自动切换。

  热场及加热电源

  ——输出功率:0-50KW或0-75KW(或根据用户要求定制)

  ——加热工作频率:2~8 KHz(根据客户负载情况而定)

  ——工作方式:连续

  ——输出功率因子:≥0.9

  ——功率分辨率:≥0.1%


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